

產(chǎn)品描述
1.腔室尺寸:Ф246×228mm(具體尺寸以設(shè)計(jì)為準(zhǔn)),1Cr18Ni9Ti優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì),氬弧焊接;
2.樣品臺(tái)尺寸:Ф100mm,高度:60~120mm可調(diào),旋轉(zhuǎn):0-20r/min可調(diào);可加熱至300℃;
3.真空系統(tǒng):機(jī)械泵(3L/S)+進(jìn)口Pfeiffer分子泵(Hipace80,67L/s);GDC-25b電磁擋板閥,DN63mm 限流閥;
4.極限真空:8.0×10-5Pa;
5.真空抽速:大氣~8×10-4Pa ≤ 30min;
6.真空測(cè)量:全量程復(fù)合真空計(jì),測(cè)量范圍:105Pa~10-5Pa;
7.磁控靶:Φ2英寸2只(含靶擋板),兼容直流電源和射頻電源;
8.濺射電源:1臺(tái)500W直流濺射電源和1臺(tái)300W全自動(dòng)匹配射頻電源;
9.質(zhì)量流量計(jì):10sccm、50sccm 控制器各一套;
10.膜厚控制系統(tǒng):進(jìn)口Inficon SQM-160單水冷探頭,精度0.1?(選配);
11.控制方式:PLC+觸摸屏智能控制系統(tǒng),具備漏氣自檢與提示、通訊故障自檢、保養(yǎng)維護(hù)提示等功能
12.設(shè)備外形:L60cm×W60cm×H96cm機(jī)電一體化機(jī)架,預(yù)留1個(gè)CF35法蘭接口;
13.設(shè)備供電總功率≤2KW,220V,單相三線制(一火一零一地);
14.冷卻循環(huán)系統(tǒng):水壓0.2~0.4MPa,水溫10~25℃,給設(shè)備相關(guān)需水冷部件提供穩(wěn)定的制冷水;
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