1.腔室尺寸：Ф246×228mm（具體尺寸以設(shè)計(jì)為準(zhǔn)），1Cr18Ni9Ti優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì)，氬弧焊接；

    2.樣品臺(tái)尺寸：Ф100mm，高度：60～120mm可調(diào)，旋轉(zhuǎn)：0-20r/min可調(diào)；可加熱至300℃；

    3.真空系統(tǒng)：機(jī)械泵（3L/S）+進(jìn)口Pfeiffer分子泵(Hipace80,67L/s)；GDC-25b電磁擋板閥，DN63mm 限流閥；

    4.極限真空：8.0×10^-5Pa；

    5.真空抽速：大氣～8×10^-4Pa ≤ 30min；

    6.真空測(cè)量：全量程復(fù)合真空計(jì)，測(cè)量范圍：10⁵Pa～10^-5Pa；

        7.磁控靶：Φ2英寸2只（含靶擋板），兼容直流電源和射頻電源；

    8.濺射電源：1臺(tái)500W直流濺射電源和1臺(tái)300W全自動(dòng)匹配射頻電源；

    9.質(zhì)量流量計(jì)：10sccm、50sccm 控制器各一套；

    10.膜厚控制系統(tǒng)：進(jìn)口Inficon SQM-160單水冷探頭，精度0.1?（選配）；

    11.控制方式：PLC+觸摸屏智能控制系統(tǒng)，具備漏氣自檢與提示、通訊故障自檢、保養(yǎng)維護(hù)提示等功能

    12.設(shè)備外形：L60cm×W60cm×H96cm機(jī)電一體化機(jī)架，預(yù)留1個(gè)CF35法蘭接口；

    13.設(shè)備供電總功率≤2KW，220V，單相三線制（一火一零一地）；

    14.冷卻循環(huán)系統(tǒng)：水壓0.2～0.4MPa，水溫10～25℃，給設(shè)備相關(guān)需水冷部件提供穩(wěn)定的制冷水；